激光劃片機(jī)
應(yīng)用領(lǐng)域
太陽能行業(yè)單晶硅、多晶硅電池片(cell)和硅片(wafer)的劃片和刻槽;非晶硅薄膜電池板的刻膜和劃線;電子行業(yè)硅、鍺、砷化鎵等半導(dǎo)體襯底材料的劃片和切割。
產(chǎn)品特點
■ 優(yōu)質(zhì)的光束質(zhì)量(基模TEM00),焦點小,表面光潔,斷面光滑
■直接切斷,不須掰片。
■ ?轉(zhuǎn)換效率更高,無消耗性易損件更換,使用成本低廉。
■ 激光器使用壽命長,真正免維護(hù),整機(jī)高可靠性、高穩(wěn)定性、高安全性。
■ 數(shù)字控制,體積小巧,模塊化的設(shè)計,方便服務(wù),減少操作者必要的培訓(xùn)水平。
■ 電池片劃片斷面光伏性能優(yōu)于燈泵浦劃線, 硅片改片成品率99%以上 。
技術(shù)參數(shù)
激光波長: 1064nm
平均輸出功率: 20W
劃片精度 ≤±10μm
最大劃線速度: 120mm/s
劃片線寬 ≤20μm
工作臺幅面 300×300mm