項(xiàng)目 標(biāo)準(zhǔn)
導(dǎo)電類型 P
摻雜劑 硼
邊長 156±0.5mm
形狀 方形
電阻率 0.5-3Ω.cm
少子壽命 ≥2μs
氧含量 ≤1×1018atoms/cm3
碳含量 ≤8×1017atoms/cm3
翹曲度 ≤30μm
總厚度差異 ≤40μm
位錯密度 ≤40μm
線痕 ≤40μm
崩邊 寬度≤0.4mm，延伸≤0.8mm，每片總數(shù)量≤2個，間隔≥30mm
表面質(zhì)量 表面清潔；無裂紋，明顯刀痕，凹坑，缺口，孔洞