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點(diǎn)擊 6466回答 0 2011-05-16 20:51

單晶硅電阻率頭部虛高怎么處理?

已關(guān)閉 懸賞分:0
1.采用什么設(shè)備?
2.采用多少溫度?
3.退火時(shí)間如何控制?(溫度如何控制?
4.是單晶棒退火還是硅片退火?
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