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2011-05-16 22:05
關于邊緣問題的求教
已關閉
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最近廠里邊緣片比較多,(一根棒子大概有20片左右)而且都在晶棒的兩頭位置出現。
自己分析原因如下:
1.截斷造成的機械損傷(用刀截斷)
2.預清洗脫膠時水壓過大(調小后情況無好轉)
3.預清洗脫膠時硅片晃動過大(用手洗硅片邊緣依舊)
望對這塊有過了解的資深大蝦給幫忙看下,,這到底時什么原因造成的還有相應的解決方案。
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