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點擊 9543回答 0 2011-05-18 20:43

燒結后鋁背場起包

已關閉 懸賞分:0
近段時間來發現燒結完畢后背場部分起了鋁包,主要集中在中間(奇怪的就是鋁包經常性的連成一條線),另外在硅片邊緣部分也有出現過鋁包。
嘗試過調節燒結爐的溫度,發現無論是升溫還是降溫,升帶速還是降帶速都還是或多或少的有鋁包(當然完全沒有鋁包的也有就是功率慘了點,主要是FF沒燒到位);其次試過增加了鋁背場的濕重,一樣的有鋁包。目前來說我正在考慮絨面處是否金字塔過大。。不過在這里希望大家能夠相互討論下,絨面如果沒問題的話。。該繼續排查哪個部分。。
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