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2011-05-18 20:56
豐常令人頭痛的問題-裂紋 已關(guān)閉
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虛心請(qǐng)教高手們一個(gè)我解決不了的問題，在這里先行謝過！！
我們現(xiàn)使用梅耶博格的BS805帶鋸進(jìn)行單晶棒的開方，但是，最近在晶棒底部出現(xiàn)裂紋，我降低過出刀時(shí)工作臺(tái)的進(jìn)給速度，也做過其它的一些其它的實(shí)驗(yàn)，甚至加快過出刀時(shí)的進(jìn)給速度人，但是一點(diǎn)效果都沒有。這種裂紋嚴(yán)重會(huì)導(dǎo)致晶棒底崩裂，輕的有細(xì)小紋路及亮點(diǎn)。而且現(xiàn)在裂紋出現(xiàn)沒有規(guī)律，時(shí)有時(shí)無。請(qǐng)問這種裂紋的產(chǎn)生是不是因?yàn)榍懈钤斐傻模趺唇鉀Q？是不是單晶棒本身的問題？ 急盼回應(yīng)，謝謝
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