大且復雜的機臺、繁瑣的管道、漫長的傳輸帶、高聳的價格，提及半導體或光伏制造設備，你首先想到的是不是這些？但很多時候，隱藏在視線以外不被注意的真空和尾氣處理系統往往成為了制造的關鍵環節。它們一般安裝在工藝設備或輔助廠房中，但卻是保障高效、安全生產的關鍵。

“真空系統可以從工藝設備中抽出具有潛在危險的生產氣體和制程副產物，并把他們輸送到處理系統中，在那里尾氣被分解并得到安全地處理。晶圓廠多達20%的能耗來自于真空泵和尾氣處理系統，Edwards一直都在提高其性能以實現成本的降低。”Edwards亞太區總裁Neil Lavender-Jones說，“Edwards與業界同行的不同之處在于，我們并非提供整條生產線，而是專注于為制造設備提供配套的干式真空泵、分子泵和尾氣處理系統等。”

選擇最佳成本和能耗的真空泵需要充分了解尾氣處理和工藝設備對于真空的要求，以及真空系統的分布狀況。太陽能和最新的半導體制造工藝（如砷化鎵化合物半導體）要求能夠處理大流量氫氣的真空技術，但是氫氣是一種難以抽取的氣體，因為它分子量小，粘度低。Edwards推出的iXH真空泵系統采用一系列具有高抽氣速率的干式泵和增壓泵以達到最佳的壓縮比，從而實現高效率地抽取氫氣，滿足各種太陽能和半導體制造工藝中的現場安裝和性能要求。

通常來說，在經濟衰退之后，半導體制造業通常會發生一些變化。例如，在2001年的衰退之后，半導體產業開始出現三個主要技術轉變：光刻向更小尺寸如0.13μm轉變，采用更新的金屬化方案，轉向300mm晶圓。而2009年衰退過后也不例外，半導體產業采用300mm晶圓的趨勢非常明顯，產業積極向300mm晶圓過渡，50%的制造業務都轉向了這種尺寸較大的晶圓。此外，32nm及更小節點也催生出了越來越多的新工藝。

變則通，通則達。“無論對于產業還是對于公司，保持增長的關鍵其實就是兩個字：創新。產品創新性越強，最終會賣得越好，設備制造商需要依靠創新來推動制造業務的增長。45nm在中國正在逐漸走向成熟，很多新的制造工藝和材料，如高k金屬柵、低k互連電介質、更高的刻蝕、填充要求等等，都需要更完善的真空泵等輔助設備與之配合。”Neil Lavender-Jones說，“隨著全球經濟開始復蘇，半導體、光伏與平板顯示行業也正在反彈，前景是極其樂觀的。我們相信，中國將率先恢復經濟活力，尤其是光伏和平板顯示行業將吸引最多關注和投資。企業需要始終保持對全球市場及其發展的充分了解，從而做好準備更好地應對不斷的變化。”

太陽能行業的成本下降主要來自于技術進步和規模效應。Neil Lavender-Jones認為，光伏市場需要整個產業鏈能夠協同合作，將蛋糕做大，產生一定的規模效應后成本也有望隨之下降。光伏市場受政策影響也比較大，比如最近德國的入網回購電價(FIT)法案的潛在變化將對許多光伏制造商產生重大影響。作為設備制造商，主要還是依靠技術進步來幫助客戶降低成本，途徑有很多，例如，高效而安全的處理尾氣、最小化設備采購成本、安裝迅速、設計最具能效的組件、減少運營成本、降低維修成本，減少維修時間等。此外還要開發適應市場的新產品。雖然市場對于新產品的接受需要一定的時間，開始投資可能會比較高，但工藝設備的可靠性和產能得到提高將會帶來更多的利益。

“除光伏市場以外，Edwards已經看到中國LED市場的快速成長，化合物半導體的制造正在經歷飛速增長，對尾氣處理提出獨特的要求。工藝中需要用到很多毒性很強的物質，因而處理過程是不可或缺的，但同時又要求低成本。”Neil Lavender-Jones說，“新市場需要新技術，在技術上提速始終是制勝之本。”