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中國武漢/荷蘭貝斯特--(美國商業(yè)資訊)--Vistec光刻有限公司今天非常高興的宣布,位于中國武漢的華中科技大學(xué)(武漢光電國家實驗室)的Vistec EBPG5000pES系統(tǒng)成功完成安裝調(diào)試,并且通過驗收.中國光電領(lǐng)域的重點實驗室武漢光電國家實驗室(WNLO),中國知名高校華中科技大學(xué)(HUST),業(yè)界領(lǐng)先的電子束光刻設(shè)備制造商Vistec視此為共同緊密的戰(zhàn)略合作中的一個重要里程碑.
Vistec的EBPG5000pES 電子束光刻系統(tǒng)將進一步增強武漢光電國家實驗室(WNLO)在光子學(xué)和光電領(lǐng)域的研發(fā)實力.”EBPG5000pES系統(tǒng)使我們能夠應(yīng)對所有現(xiàn)今研發(fā)中精細光刻的需求.我們確信無論在應(yīng)用方面還是技術(shù)服務(wù)方面,都能得到Vistec這一戰(zhàn)略合作伙伴的支持.”武漢光電國家實驗室,光電子微納制造工藝平臺(OMFC)主任夏金松教授說道.
Vistec EBPG5000pES 系統(tǒng)高度可靠,設(shè)計架構(gòu)經(jīng)過實際證明是頂級的電子束光刻工具.系統(tǒng)擁有靈活的光電透鏡系統(tǒng),高亮度的熱場發(fā)射電子束源,可以穩(wěn)定的工作在50KeV和100KeV的加速電壓,提供了小到2.2nm的束斑尺寸,因此,保障了最小分辨率可以穩(wěn)定重復(fù)的達到小于8nm的結(jié)構(gòu).同時,系統(tǒng)采用了易用的交互圖形化操作界面(GUI),十分簡單容易使用在多用途,多用戶的學(xué)校和科研環(huán)境下.
“我們非常高興和武漢華中科技大學(xué)光電國家實驗室(WNLO)共同達到合作過程中這一里程碑的時刻,確信Vistec可以幫助華中科技大學(xué)光電國家實驗室實現(xiàn)更多的成功”,Vistec電子束光刻公司執(zhí)行總裁Erwin Mueller先生說道.”武漢光電國家實驗室的電子束光刻系統(tǒng)是第一臺在中國境內(nèi)安裝運行的EBPG5000pES系統(tǒng),我們相信今后Vistec的業(yè)務(wù)在中國范圍內(nèi)會有越來越多的穩(wěn)定增長.”
媒體信息：
武漢光電國家實驗室
武漢光電國家實驗室(WNLO)是科技部于2003年11月批準籌建的五個國家實驗室之一。于2006年11月批準正式建設(shè).由教育部、湖北省和武漢市共建，其依托單位是華中科技大學(xué)，另有三個組建單位：武漢郵電科學(xué)研究院、中國科學(xué)院武漢物理與數(shù)學(xué)研究所.更多詳細信息請查閱網(wǎng)站 http://www.wnlo.cn/
華中科技大學(xué)是國家教育部直屬的全國重點大學(xué)，由原華中理工大學(xué)、同濟醫(yī)科大學(xué)、武漢城市建設(shè)學(xué)院于2000年5月26日合并成立，是首批列入國家“211工程”重點建設(shè)和國家“985工程”建設(shè)高校之一。
按照“應(yīng)用領(lǐng)先、基礎(chǔ)突破、協(xié)調(diào)發(fā)展”的科技發(fā)展方略，構(gòu)建起了覆蓋基礎(chǔ)研究層、高新技術(shù)研究層、技術(shù)開發(fā)層三個層次的科技創(chuàng)新體系。建設(shè)有武漢光電國家實驗室、脈沖強磁場實驗裝置等國家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施，還擁有5個國家重點實驗室、1個國防重點實驗室、6個國家工程（技術(shù)）研究中心、1個國家工程實驗室及一批省部級研究基地。
http://english.hust.edu.cn/about.html
Vistec電子束光刻集團
Vistec電子束光刻集團是一家生產(chǎn)制造和供應(yīng)電子束光刻系統(tǒng)的國際公司.應(yīng)用于包括納米科技,生物納米科技,微電子,光電子研發(fā)到工業(yè)用掩膜板制造和電子束硅片直寫等領(lǐng)域.Vistec電子束光刻集團包括Vistec光刻公司(Vistec Lithography)和Vistec電子束公司(Vistec Electron Beam).
Vistec光刻公司
Vistec光刻公司研發(fā),生產(chǎn)和銷售高斯束技術(shù)的電子束光刻系統(tǒng).Vistec的高斯束電子束光刻系統(tǒng)在全世界范圍內(nèi)廣泛的服務(wù)于各大研究所,實驗室和大學(xué).
Vistec電子束公司
Vistec電子束公司提供基于變形束技術(shù)的電子束光刻機,世界領(lǐng)先的半導(dǎo)體公司和許多研究所都在使用.Vistec的創(chuàng)新電子束系統(tǒng)適用于芯片制造,集成光器件,同時也包括科學(xué)和商用產(chǎn)品的開發(fā)應(yīng)用.
Vistec的EBPG5000pES 電子束光刻系統(tǒng)將進一步增強武漢光電國家實驗室(WNLO)在光子學(xué)和光電領(lǐng)域的研發(fā)實力.”EBPG5000pES系統(tǒng)使我們能夠應(yīng)對所有現(xiàn)今研發(fā)中精細光刻的需求.我們確信無論在應(yīng)用方面還是技術(shù)服務(wù)方面,都能得到Vistec這一戰(zhàn)略合作伙伴的支持.”武漢光電國家實驗室,光電子微納制造工藝平臺(OMFC)主任夏金松教授說道.
Vistec EBPG5000pES 系統(tǒng)高度可靠,設(shè)計架構(gòu)經(jīng)過實際證明是頂級的電子束光刻工具.系統(tǒng)擁有靈活的光電透鏡系統(tǒng),高亮度的熱場發(fā)射電子束源,可以穩(wěn)定的工作在50KeV和100KeV的加速電壓,提供了小到2.2nm的束斑尺寸,因此,保障了最小分辨率可以穩(wěn)定重復(fù)的達到小于8nm的結(jié)構(gòu).同時,系統(tǒng)采用了易用的交互圖形化操作界面(GUI),十分簡單容易使用在多用途,多用戶的學(xué)校和科研環(huán)境下.
“我們非常高興和武漢華中科技大學(xué)光電國家實驗室(WNLO)共同達到合作過程中這一里程碑的時刻,確信Vistec可以幫助華中科技大學(xué)光電國家實驗室實現(xiàn)更多的成功”,Vistec電子束光刻公司執(zhí)行總裁Erwin Mueller先生說道.”武漢光電國家實驗室的電子束光刻系統(tǒng)是第一臺在中國境內(nèi)安裝運行的EBPG5000pES系統(tǒng),我們相信今后Vistec的業(yè)務(wù)在中國范圍內(nèi)會有越來越多的穩(wěn)定增長.”
媒體信息：
武漢光電國家實驗室
武漢光電國家實驗室(WNLO)是科技部于2003年11月批準籌建的五個國家實驗室之一。于2006年11月批準正式建設(shè).由教育部、湖北省和武漢市共建，其依托單位是華中科技大學(xué)，另有三個組建單位：武漢郵電科學(xué)研究院、中國科學(xué)院武漢物理與數(shù)學(xué)研究所.更多詳細信息請查閱網(wǎng)站 http://www.wnlo.cn/
華中科技大學(xué)是國家教育部直屬的全國重點大學(xué)，由原華中理工大學(xué)、同濟醫(yī)科大學(xué)、武漢城市建設(shè)學(xué)院于2000年5月26日合并成立，是首批列入國家“211工程”重點建設(shè)和國家“985工程”建設(shè)高校之一。
按照“應(yīng)用領(lǐng)先、基礎(chǔ)突破、協(xié)調(diào)發(fā)展”的科技發(fā)展方略，構(gòu)建起了覆蓋基礎(chǔ)研究層、高新技術(shù)研究層、技術(shù)開發(fā)層三個層次的科技創(chuàng)新體系。建設(shè)有武漢光電國家實驗室、脈沖強磁場實驗裝置等國家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施，還擁有5個國家重點實驗室、1個國防重點實驗室、6個國家工程（技術(shù)）研究中心、1個國家工程實驗室及一批省部級研究基地。
http://english.hust.edu.cn/about.html
Vistec電子束光刻集團
Vistec電子束光刻集團是一家生產(chǎn)制造和供應(yīng)電子束光刻系統(tǒng)的國際公司.應(yīng)用于包括納米科技,生物納米科技,微電子,光電子研發(fā)到工業(yè)用掩膜板制造和電子束硅片直寫等領(lǐng)域.Vistec電子束光刻集團包括Vistec光刻公司(Vistec Lithography)和Vistec電子束公司(Vistec Electron Beam).
Vistec光刻公司
Vistec光刻公司研發(fā),生產(chǎn)和銷售高斯束技術(shù)的電子束光刻系統(tǒng).Vistec的高斯束電子束光刻系統(tǒng)在全世界范圍內(nèi)廣泛的服務(wù)于各大研究所,實驗室和大學(xué).
Vistec電子束公司
Vistec電子束公司提供基于變形束技術(shù)的電子束光刻機,世界領(lǐng)先的半導(dǎo)體公司和許多研究所都在使用.Vistec的創(chuàng)新電子束系統(tǒng)適用于芯片制造,集成光器件,同時也包括科學(xué)和商用產(chǎn)品的開發(fā)應(yīng)用.
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