• 核心技術(shù)涵蓋了生產(chǎn)高效的PERC電池所必備的制程步驟
• 全自動(dòng)化鍍膜系統(tǒng)在晶硅太陽(yáng)能電池的正面與背面進(jìn)行保護(hù)層鈍化，大幅提升晶硅太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率
• 核心技術(shù)涵蓋了生產(chǎn)高效的PERC電池所必備的制程步驟
• 全自動(dòng)化鍍膜系統(tǒng)在晶硅太陽(yáng)能電池的正面與背面進(jìn)行保護(hù)層鈍化，大幅提升晶硅太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率

Manz 為全球領(lǐng)先的高科技設(shè)備制造商，隨著VCS 1200 PECVD垂直式真空鍍膜系統(tǒng)問(wèn)世，我們正式踏足真空鍍膜的市場(chǎng)。VCS 1200 PECVD是一款專門針對(duì)晶硅太陽(yáng)能電池進(jìn)行正面與背面垂直定位鍍膜的設(shè)備，可完成保護(hù)層鈍化。它的發(fā)表也意味著我們完整掌握了全自動(dòng)化晶硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)的每一重要步驟，同時(shí)能提供晶硅太陽(yáng)能電池整體解決方案的能力，可幫助客戶規(guī)劃有助于提升效率的制程并進(jìn)一步降低投資及營(yíng)運(yùn)成本。

VCS 1200 PECVD杰出的表現(xiàn)在于發(fā)揮氮化硅及氧化鋁層的最佳鈍化效果，并且僅需單一步驟便能制造出傳統(tǒng)用的多層堆棧。此外，高效能電漿源的使用，不僅呈現(xiàn)了最佳鈍化效果，更保證了鍍膜時(shí)的高穩(wěn)定性。再者， Manz 鍍膜載具系統(tǒng)（Manz Coating Carrier System）的創(chuàng)新制程概念及電池片垂直定位，能完全免除其他制造商在制程中使用機(jī)械式定位硅芯片而導(dǎo)致的陰影或針印 (shading or pin mark)，并有助于確保電池表面鍍膜的高度均勻性，此亦可避免一般系統(tǒng)可能出現(xiàn)的瑕疵，不會(huì)在鍍膜前或鍍膜期間發(fā)生不必要的微粒沉積于電池片上(particle deposits)。此一環(huán)節(jié)對(duì)降低生產(chǎn)成本扮演著重要角色，可讓新一代高效太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)再獲可觀利潤(rùn)。

技術(shù)的拓展使效率再提升
PERC太陽(yáng)能電池的背面保護(hù)層鈍化系分為三大步驟，首先，運(yùn)用化學(xué)濕制程拋光電池片的一側(cè)，然后使用電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)在電池片上生成氧化鋁薄膜和一層氮化硅，最后再以雷射開(kāi)啟堆棧式絕緣層，藉此建立和電池片背面的局部接觸。我們的VCS 1200 PECVD使用氧化鋁進(jìn)行太陽(yáng)能電池背面保護(hù)層的鈍化，這具備有兩大效益：第一，保護(hù)層會(huì)將長(zhǎng)波長(zhǎng)范圍的光子反射回電池，藉以提升電池的光電轉(zhuǎn)換效率。第二，氧化鋁有助于延長(zhǎng)電池內(nèi)部所產(chǎn)生之電荷載子的壽命，藉此增加電流與電壓，這兩項(xiàng)優(yōu)勢(shì)皆能提升太陽(yáng)能電池的運(yùn)作效率。因此我們的核心技術(shù)不只涵蓋上述所有制程步驟，也是目前唯一一家能為客戶規(guī)劃有助于提升效率制程的設(shè)備供貨商。

為現(xiàn)有生產(chǎn)線創(chuàng)造可觀利潤(rùn)
VCS 1200 真空鍍膜系統(tǒng)是由 2010 年成立的 Manz Coating GmbH 所研發(fā)，產(chǎn)量可達(dá)每小時(shí)1200片，并能與現(xiàn)有生產(chǎn)線完美整合。總經(jīng)理 Mathias Höfler 表示：「能在極短時(shí)間內(nèi)讓系統(tǒng)銷售上市，是由于我們?cè)诳査固顾腹?50 位高度專業(yè)工程人員匯集專家技術(shù)的成果。有了VCS 1200，我們?nèi)缃褚殉赡転榫Ч杼?yáng)能電池生產(chǎn)提供每一重要制程步驟的設(shè)備供貨商。」

VCS 1200能和現(xiàn)有生產(chǎn)線輕易整合，使電池制造商因此獲得再次提振營(yíng)收的絕佳機(jī)會(huì)。創(chuàng)辦人暨執(zhí)行長(zhǎng) Dieter Manz 補(bǔ)充道：「每個(gè)人都了解，太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)目前面臨的難處在于滿足所有電池制造商削減每瓦成本的需求。PECVD為完美的解決方案，將有效的幫助客戶進(jìn)一步降低投資與營(yíng)運(yùn)成本。」



Manz 利用新研發(fā)的真空鍍膜系統(tǒng)，提升硅晶太陽(yáng)能電池的運(yùn)作效率



VCS 1200真空鍍膜系統(tǒng)是整個(gè)制程的最后一塊拼圖：Manz 目前提供的系統(tǒng)，皆能達(dá)成晶硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)制程的每一重要步驟。