Veeco日前與中國電子科技集團公司第十八研究所、中國化學與物理電源行業協會共同舉辦了銅銦鎵硒(CIGS)薄膜太陽電池技術研討會,議題涵蓋CIGS薄膜太陽能電池的最新生產設備、測試設備及目前中國光伏產業發展現狀等。
Veeco主要為高亮度LED、太陽能、半導體用戶提供技術解決方案。Veeco大中華區總經理王克揚表示,Veeco是業界目前唯一可將熱源整合到CIGS Web鍍膜系統上的薄膜沉積設備供應商,因此公司的FastFlex卷繞鍍膜系統能夠給客戶帶來卓越的高吞吐量的沉積方案,幫助客戶快速完成從研發到量產的過程。
FastFlex Web鍍膜系統,由Veeco于2008年5月收購的Lowell生產,具有吞吐量高、性能卓越、擁有成本低,并且具有緊湊的外形尺寸等特點。通過其靈活的結構設計可實現濺射,反應濺射和熱蒸發鍍膜,是Mo(鉬),TCO(透明導電氧化物)和CIGS等太陽能薄膜制備的理想工具。王克揚介紹,系統可在多個沉積區實現旋轉或平面磁場分布,用戶可根據自身需要選用表面預清洗和多種泵系統。CIGS 系統配備有Veeco擁有專利并已在業界廣為使用的PV系列熱蒸發源,通過選用合適的沉積系統并優化工藝條件,可極大提高原料的利用率和降低鍍層厚度的不均勻性(NU)。
Veeco目前針對薄膜太陽能電池的大規模生產向客戶提供鉬、CIGS及TCO沉積層的集成制造解決方案。經生產驗證的CIGS熱沉積源,因能高產量生產出超高質量薄膜,并轉化成更高效、高成品率的多結太陽能電池,從而有效地新降低太陽能電池每瓦成本。TurboDisc E475是行業內領先的最大產能的MOCVD系統,針對大批量化合物材料的生產而設計,采用RealTemp 200技術可直接實現閉環原位晶片溫度控制,并通過快速地開/關氣體實現彎道處的嚴格控制,這兩項技術的處理可帶來優質的材料以及很高的工藝率,相較于前代產品E450提高了15%的產能并進一步降低了成本。
除多結太陽能電池外,該系統還可用于HBT、pHEMT器件,以及紅、橙和黃光高亮度LED、激光二極管等。其TurboDisc K系列GaN MOCVD系統,主要用于大批量生產GaN基綠光LED和藍色激光器,并對增加GPI的高亮度藍光LED的產量也有明顯作用。
王克揚介紹,Veeco目前在上海外高橋建有保稅倉庫,在北京和上海設立了多個聯合實驗室,為用戶提供直接和周到的市場和技術支持。而薄膜太陽能電池和LED照明領域,是公司在中國重點拓展的目標市場,并且已有了實質性進展。