比利時納米科技研究所Imec宣布其使用新工藝開發的 i-PERC型硅基太陽能電池已達到20.2%的轉換效率。據Imec稱,這一結果主要得益于一種新的鋁氧化物(Al2O3)原子層沉積(ALD)激光摻雜技術工藝流程。
這種新工藝使用鋁板背表面場(BSF)與鎳銅涂層構成電極,此舉簡化了需要通過激發形成BSF的過程,并為金屬化過程提供了更低的溫度許可。據該機構稱,降低溫度是Imec提高i-Perc效率的關鍵因素。
這種新工藝使用鋁板背表面場(BSF)與鎳銅涂層構成電極,此舉簡化了需要通過激發形成BSF的過程,并為金屬化過程提供了更低的溫度許可。據該機構稱,降低溫度是Imec提高i-Perc效率的關鍵因素。