愛發科（ULVAC）將從2009年7月1日開始銷售串聯結構薄膜硅太陽能電池的一條龍生產線。該生產線可制造光電轉換效率為9％（采光面積內）、外形尺寸為1100mm×1400mm的太陽能電池模塊，模塊的最大輸出功率約為130W。該公司現有薄膜硅太陽能電池的轉換效率約為7％，最大輸出功率約為100W。該公司表示，通過采用串聯結構，可將單位輸出功率的生產成本降低約10％。

微結晶硅薄膜用PE-CVD設備“CIM-1400”的外觀。靠前面的是底板送入及取出口。其后面依次為加載互鎖室、PE-CVD室及泵類等。

　　串聯結構的薄膜硅太陽能電池由非晶硅薄膜和微結晶硅薄膜構成。其中，在僅由非結晶硅薄膜構成的薄膜硅太陽能電池方面，愛發科已經提供了13條生產線。此次通過新開發微結晶硅薄膜使用的PE-CVD設備“CIM-1400”，實現了串聯結構的制造。

　　CIM-1400的特點是在6塊底板上同時形成微結晶硅薄膜。在成膜室中縱向配置三個電極，將底板排列于各電極的兩側。在這種狀態下，以30nm/秒的成膜速度形成1.5μ～2μm厚的微結晶硅薄膜。通過同時成膜彌補了成膜速度低的缺陷。

　　通過使用8臺CIM-1400設立一條龍生產線，能夠以90秒的間隔生產串聯結構的薄膜硅太陽能電池。該條件下的年生產能力為32.5MW，一條龍生產線的價格約為90億日元。當客戶已導入僅由非結晶硅薄膜構成的薄膜硅太陽能電池的一條龍生產線時，追加約40億日元的費用，即可進行串聯結構的制造。愛發科力爭在2009年7月起的1年內實現700億～1000億日元的銷售額。

　　6塊底板同時成膜的模塊，其穩定前的最大輸出功率首批為150W、149W、149W、152W、150W、151W，第21批為149W、152W、150W、152W、149W、149W。其中，對最大輸出功率為151W的模塊進行169小時光照使之穩定后，最大輸出功率為135W。

　　愛發科還公布了今后的開發計劃。將通過提高輸出功率并降低材料成本，使單位輸出功率的制造成本降至現有薄膜硅太陽能電池的58％。具體而言，在使模塊輸出功率達到147W的同時改變密封方法，并與材料廠商進行合作，由此實現目標。（記者：河合 基伸）