臺灣太陽能硅片廠綠能科技(GET)獨創的“蝕刻液與硅基板表面粗糙化方法”鉆石切割線技術正式獲得臺灣發明專利保護,可優化鉆石線切割外延片的效率、并提高硅片的轉換效率。同樣的技術在中國大陸正在進行專利審查。
目前太陽能硅片的切片多以銅線搭配切割液為主。相較之下,鉆石切割線的耐用度與產能都較銅線為佳,未來可望成為主流。綠能在研發銅線切片搭配研磨技術的專利的同時,也研究新世代鉆石切割線的技術。
綠能表示,用濕蝕刻技術搭配鉆石線切割技術,最多可提升外延片的轉換效率達0.4%;若采用新能源的高效芯片,搭配PERC電池技術,多晶電池轉換效率最高可達19.5%、平均效率達18.4%。若同時采用新能源的140um鉆石切割工藝,硅材耗損率可再降低10%。
由于鉆石線切之后的硅片表面會過于光滑,光反射率高,導致光子吸收量少,進而影響發電量。鉆石切割現在切割時也會產生應力,使硅片表面發生輕微磨損。為此,綠能科技透過特殊配方的蝕刻液與精確控制的硅晶源溫度、蝕刻工藝,使硅片表面能均勻粗糙化,并移除損傷層。蝕刻、清洗后所產出的廢料,也可同步在工藝上回收。
目前太陽能硅片的切片多以銅線搭配切割液為主。相較之下,鉆石切割線的耐用度與產能都較銅線為佳,未來可望成為主流。綠能在研發銅線切片搭配研磨技術的專利的同時,也研究新世代鉆石切割線的技術。
綠能表示,用濕蝕刻技術搭配鉆石線切割技術,最多可提升外延片的轉換效率達0.4%;若采用新能源的高效芯片,搭配PERC電池技術,多晶電池轉換效率最高可達19.5%、平均效率達18.4%。若同時采用新能源的140um鉆石切割工藝,硅材耗損率可再降低10%。
由于鉆石線切之后的硅片表面會過于光滑,光反射率高,導致光子吸收量少,進而影響發電量。鉆石切割現在切割時也會產生應力,使硅片表面發生輕微磨損。為此,綠能科技透過特殊配方的蝕刻液與精確控制的硅晶源溫度、蝕刻工藝,使硅片表面能均勻粗糙化,并移除損傷層。蝕刻、清洗后所產出的廢料,也可同步在工藝上回收。