項(xiàng)目 標(biāo)準(zhǔn)
生長(zhǎng)方式 CZ
導(dǎo)電類型 P
摻雜劑 硼
晶向 〈100〉±1.0°
邊長(zhǎng) 156±0.5mm
直徑 200±0.5mm
厚度 200±20μm
形狀 準(zhǔn)方形
電阻率 1-3Ω.cm
少子壽命 ≥10μs
氧含量 ≤1×1018atoms/cm3
碳含量 ≤5×1016atoms/cm3
翹曲度 ≤75μm
總厚度差異 ≤40μm
位錯(cuò)密度 ≤1000個(gè)/cm3
線痕 深度≤10μm
崩邊 寬度≤0.4mm，延伸≤0.8mm，每片總數(shù)量≤2個(gè)，間隔≥30mm
表面質(zhì)量 表面清潔；無(wú)裂紋，明顯刀痕，凹坑，缺口，孔洞