Solarbe報道，雖然半導體產品仍是消費電子特種氣體的主力軍，但光伏技術的發展加大了電子工業氣體的需求量。只要石油價格繼續保持在高位，光伏技術就將得到大量應用，全球電子工業氣體需求也將隨之激增。
　　總部設在美國加州圣何塞市的半導體設備和材料協會（SEMI）預測，全球光伏市場將從2007年的130億美元增長到2012年的超過400億美元。美國市場研究公司弗里多尼亞集團稱，全球工業氣體市場2005年達410億美元，預計2010年將達510億美元。
　　電子工業氣體主要用于薄膜沉積，如化學氣相沉積（CVD）或物理氣相沉積（PVD法），這些技術主要用來制造半導體或光伏電池。三氟化氮（NF3）、硅烷（SiH4）和氨氣是用于半導體、液晶顯示器（LCD）和光伏技術領域的三大主要電子工業氣體。
　　薄膜太陽能電池在不同領域、不同自然條件下的普及應用，使其生產過程中必不可少的電子工業氣體消費量以較快速度增長。美國工業氣體供應商空氣化工產品公司預測，全球太陽能電池產能將以年均30%以上的速度增長。
　　未來第二代超薄薄膜硅光伏技術的發展，將刺激特種工業氣體需求繼續加快增長。空氣化工產品公司2007年底對外宣布，將對其設在韓國蔚山的NF3裝置進行擴能改造，到2009年，該基地的產能將擴大一倍達1000噸/年。另外，該公司還在美國賓夕法尼亞州建有總產能達2200噸/年的NF3裝置。
　　總部設在德國慕尼黑的瓦克公司預測，多晶硅的年需求將以10％速度增長。另有一家咨詢公司指出，90%的光伏電池是以電子級多晶硅為原料，大多數太陽能級多晶硅以氯硅烷作為一種中間介質，并通過氣態工藝過程加工而成。